主动式电控隔振平台如何守护精密制造

在半导体制造、精密测量等尖端领域，随着精密制造的需求升级，对振动控制提出更严格的要求。例如晶圆检测、显微光刻等关键环节，都要求一个“静到极致”的微环境，主动隔振系统从“可选”变为刚需。

主动隔振技术的研发，是在纳米尺度上对抗物理世界扰动的极致工程，其难度体现在精度、带宽、控制等多维度的极限要求上。而芯片制造对良率的苛刻追求、巨大的经济效益市场以及国家政策对自主创新的驱动，共同构成了这项技术复杂而重要的行业与政策背景。

主动式电控隔振平台

当你听到这个名词时是不是一头雾水？

那今天，让我们由浅入深

带你了解玖福主动式电控隔振平台

什么是主动式电控隔振平台

玖福自主研发主动式电控隔振平台，专为振动敏感型高精度设备设计，产品集成实时传感与电磁促动系统，可主动抑制环境振动。该隔振台的主要性能体现在减震的频率范围，以及振动传递率控制。主动隔振系统从1Hz开始具备减震效果，可以有超过90%的振动被屏蔽，最终将振动传递率控制在5%以下，有效解决精密设备的微振动干扰难题。

参数性能 

-主动带宽：1-150Hz

-作用范围：六自由度

-性能：从1Hz开始，-25dB@2Hz，-40dB@>5Hz

-驱动行程：5mm@竖向，1.5mm@横向

-响应时间：瞬时响应

-承载力：一吨/pcs

-尺寸：260*260*260mm

-重量：50kg/pcs

与被动隔振的区别 

被动式隔振适用于现场环境振动满足设备微震等级要求的情况，主动式隔振适用于高敏感型精密设备，现场环境无法满足其微震要求的情况。

应用场景

玖福以国产化设备专业解决方案，满足客户在产品性能、应用场景、成本控制等多方面的需求。玖福主动式电控隔振平台，作为振动敏感型仪器的理想之选，能够确保半导体、精密仪器领域如CD SEM、AFM、EBL、干涉仪等设备在嘈杂的环境中高标准运行，并能在产品性能方面对标美国TMC，德国IDE，日本TKK等国际一线品牌。

结语

未来，随着芯片工艺不断迈向更小纳米级，隔振技术也必须更智能、更集成。玖福将持续研发，致力于为半导体行业提供更高水平的隔振解决方案，也将赋能更多客户，助力其在半导体制造、精密测量等领域实现更高精度、更高效率的生产目标。